真空炉加热元件的形式和材料有一定的不同。一般以板式和棒式为主，材料为高质量石墨。近年来cfc(碳碳)复合材料的出现表现出较大的技术优势，有取代石墨的趋势。同样功率的情况下cfc材料厚度薄、相对蓄热小、有利于提高冷却速度。.
与传统的冶炼相比，真空感应熔炼节能，环保，工人作业环境好，劳动强度小，具有很大优势。利用感应熔炼技术，最终浇注的合金材料杂质更少，添加的合金比例更加合适，能够更加符合工艺对材料各性能的要求。
真空感应熔炼技术目前已经得到大规模的使用，从用于试验研究的几千克感应炉到用于实际生产的几十吨容量的大型感应炉，由于其操作工艺简单，熔化升温快熔炼过程容易控制，所冶炼金属成分均匀等优点，具有很大的应用前景，近些年得到了迅速的发展。
在真空条件下进行金属与合金熔炼的特种熔炼技术。主要包括真空感应熔炼、真空电弧重熔和电子束熔炼。随着现代科学技术的飞跃发展，特别是伴随着宇航、海洋开发、能源开发及电子工业的迅速进展，对金属材料(高级合金钢及合金)的品种、产量、尤其是质量提出了越来越高的要求。
真空热处理设备是实现材料热处理的重要设备。炉内气压低于正常气压。炉内气氛相当于一种气体，可使热处理工作不氧化。热处理设备的用途很广，主要用于结构钢、不锈钢、耐热合金、精密合金以及材料的真空回火，时效、退火、淬火，也可以用于真空除气，钎焊和烧结等方面。真空热处理炉使用安全可靠，可实现自动化操作，没有污染公害等间题。

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